海隆HERION真空電磁閥工作原理概述
電磁閥作用
1.開關(guān)氣路，當閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路；
當閥2關(guān)閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；
當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經(jīng)擴散泵。
可見，閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。
閥門與泵接在同電源上，泵的開啟與停止直接控制了閥的開啟與關(guān)閉。
當泵停止工作或電源突然中斷時，閥能自動將真空系統(tǒng)封閉，并將大氣通過泵的進氣口充入泵腔，
避免泵油返流污染真空系統(tǒng)。真空電磁閥適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。
真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。
真空閥門關(guān)閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。
電磁真空帶充氣閥與電磁真空壓差閥是專門用于防止機械真空泵返油的真空閥，安裝于機械真空泵的進氣口，并與泵同步開啟和關(guān)閉。
般不能用到其它地方，也就是說不能用于真空系統(tǒng)中作放氣之用。
選用尼威電磁真空壓差閥的是耗電量很小，節(jié)省能源;DN≤50的閥體材質(zhì)為鋁合金，重量輕，體積小，閥板關(guān)閉速度快。

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海隆HERION真空電磁閥工作原理概述